真空排気装置

先端科学技術の研究施設から民間工場まで、
専用設計による高精度な真空排気システムを提供

クリハラントは、核融合実験用大型ヘリカル装置(LHD)に付帯する日本最大級の真空排気装置をはじめ、多様なシステムの設計・製造・施工をトータルにサポート。先端科学技術分野で培った高度なノウハウを、民生用システムにも供給し、あらゆる分野において、現場のニーズに即した専用設計による高精度な真空排気システムをご提供いたします。

確かな設計力と施工力で、さまざまな用途の
フルオーダーによる真空排気装置を実現します

  • 特長1 スペースシャトルの高度を超える10-7 Paまでの超高真空を達成
  • 特長2 チャンバー(真空容器)への精密研磨により、排気効率を最大化
  • 特長3 精密施工により、減圧を妨げる微細なキズをも徹底排除

真空排気装置技術

日本最大級の真空排気装置を高等研究機関へ納入。
ハイレベルな要求にも高度な技術力で適確に対応

大型ヘリカルの真空排気装置で証明された超高水準真空排気技術

米・英・独・露など国際的な連携のもと、人類の英知を結集して行われている核融合研究。クリハラントは、日本の核融合科学研究所が進めている大型ヘリカル装置(LHD)の建設プロジェクトに参画。生成されたプラズマを安定的に保つため、同装置に付帯する真空排気装置の設計・製造・施工を担当しています。
チャンバー(真空容器)の研磨度を極限にまで高め、微細なキズも付けないよう慎重かつ精密な施工を実施することにより、10-7 Paという超高真空を達成しました。クリハラントは、こうして最先端科学技術分野で培った高度な技術力を、製造業をはじめ民間のあらゆる産業分野に提供いたします。

プラズマ真空排気装置系の構成

多様なポンプを駆使して確実な超高真空を実現

生成したプラズマを閉じこめておく真空容器に対し、当社の真空排気装置を設置。圧力段階に応じたさまざまな方式のポンプを組み合わせて、最適なソリューションを構築します。この総合的なシステムにより、大気圧から超高真空までスムーズな減圧を可能にします。

真空排気装置性能

上空400kmに相当する超高真空状態を生成し、
あらゆる製造産業の生産基盤となる環境を創出

スペースシャトルの高度を超える
10-5 ~10-7 Paの超高真空を達成可能

クリハラントでは、独自の技術とノウハウを駆使し、粗引き用油回転ポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプなど多種類の真空排気装置を組み合わせてシステムを構築。スペースシャトルの飛行高度を超える10-5 ~10-7 Paの超高真空まで減圧することが可能です。

高度な研磨技術などにより
装置からのリーク極少化を実現

「真空の世界にはごまかしがない」と言われるように、ミクロン単位の隙間やキズからも必ずリーク(漏れ)が発生し、真空度の低下をもたらします。クリハラントは、チャンバー(真空容器)の表面を滑らかに仕上げる高精度な研磨技術と、慎重かつ精密な施工技術によって、リークを限りなくゼロに近づけることを実現しています。

真空の定義

JISが定義する真空とは、気体が全くない状態(絶対真空)だけでなく、周辺より低圧な気体で満たされた容器内の状態全てを示します。通常、装置は1気圧の地表に置tかれることから、1気圧以下の圧力状態を真空と言います。また、100Pa以上を低真空、100~0.1Pa を中真空、0.1~10-5 Paを高真空、10-5 Pa以下を超高真空と呼んでいます。

装置開発

小型から超大型まで、既製品では実現が難しい、
多様なニーズに応える真空排気装置を製造

貴社が求める仕様に合わせて
最適なシステムを設計・構築

クリハラントは、既製の真空排気装置では実現が難しい、様々な用途やニーズに合わせて、フルオーダーメイド対応で実現。小型から超大型まで、求める仕様に応じて専用設計を行い、最適なシステムを構築します。さらに、現場での施工、稼働後の保守管理までをフルサポート。設計・製造・施工が一体となったトータル・ソリューションをご提供します。

オーダー例

  • 核融合装置用・真空排気システム
  • 蒸留装置用・真空排気システム
  • 表面分析装置用・真空排気システム
  • 冷却装置用・真空排気システム
  • 凍結乾燥装置用・真空排気システム
  • 鍛造装置用・真空排気システム
  • 乾燥装置用・真空排気システム
  • 医療的ケア用・真空排気システム etc...

特  長

システム設計から機器選定・施工・保守まで、
一貫したトータル・ソリューションを提供

電力会社・大手プラントメーカーから多数の受注実績。
蓄積されたノウハウを駆使し、優れた技術力を発揮します

クリハラントは、電力会社・大手プラントメーカー様の電気計装工事を中心として、長年にわたり多数の受注実績を有する企業です。
貴社の課題解決に、当社独自の技術力とノウハウをぜひお役立てください。

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